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本发明涉及一种基于MEMS芯片的气敏材料快速筛选装置及方法，所述装置由集成MEMS芯片、测试腔体、液晶操作屏、功能控制模块、ARM板卡、锂电池、气泵、充电插口、SD卡插槽、电源开关和外壳于一体机：MEMS芯片集成了多通道采集和自加热，为敏感材料提供检测基底和信号采集端口；测试腔体用于固定MEMS芯片并为其提供包括温度、气氛和光照可控及湿度可监测的测试环境；功能控制模块连接ARM板卡，用于为红外测温...
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李昕欣团队采用基于MEMS芯片的气相原位透射电镜（TEM）表征技术，探究了Pd-Ag合金纳米颗粒催化剂在MEMS氢气传感器工况条件下的失效机制（图1）。2022年4月13日，相关研究成果作为Supplementary Cover论文，以In Situ TEM Technique Revealing the Deactivation Mechanism...