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搜索结果:
1-1
共查到
“
控制科学与技术 MOCVD
”
相关记录1条 . 查询时间(0.093 秒)
基于Fuzzy-PID的
MOCVD
温度控制方法
MOCVD
温度控制
模糊PID控制
2009/6/5
针对
MOCVD
系统反应室温度的特性和对温度控制的要求,提出了一种基于Fuzzy-PID的温度控制方案,即利用模糊控制求得归一化的PID参数变化系数,从而实现PID参数的在线自调整.与Smith预估控制相比,Fuzzy-PID具有更好的控制效果,较好地解决了系统中存在的“非线性”、“大滞后”、“物理模型不精确”等问题,满足
MOCVD
控制系统温度控制要求.
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