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中国科学院半导体所在PZT光电子材料与器件领域取得重大突破(图)
半导体 光电子材料 器件
2025/1/14
数据中心、人工智能和云计算等技术的飞速发展导致全球流量需求激增,对高速信息网络的构建提出了前所未有的挑战,包括但不限于高数据传输速率、低功耗和高集成度等性能需求,进而推动了高性能光电子材料与器件的创新研发。薄膜锆钛酸铅(Pb(ZrTi)O3, PZT)铁电材料因其高透明度、优越的化学/热稳定性和高电光系数优势而广受关注,Pockels系数值大于100 pm/V,超过薄膜铌酸锂3倍,有望同时实现低能...
为对纤维复合板损伤识别进行研究,采用PZT-SLDV模态测试系统,以存在凹痕损伤四边固定约束的纤维复合板为例,对纤维复合板的损伤检测进行试验和数值模拟研究。通过表面黏贴压电陶瓷(PZT)片对纤维复合板进行激励,再利用SLDV测得其各阶位移模态,并应用中央差分法计算曲率模态进行纤维复合板的损伤识别;最后,利用ABAQUS有限元分析软件,建立含损伤的四边固定约束纤维复合板有限元模型,并对建立的有限元模...
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能。利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出...
基于Nd:YAG激光回馈干涉效应的PZT精密测量技术与系统
Nd:YAG 激光回馈 压电陶瓷
2016/8/26
压电陶瓷在精密控制中具有重要作用,而其在快速控制中的实际高频响应却缺少有效且精密的方法。总结了目前测量压电陶瓷特性的方法,分析了测量中存在的困难和不足,使用基于激光回馈干涉原理的Nd:YAG微片激光回馈干涉测量系统对压电陶瓷的动态特性进行了研究。使用两种压电陶瓷在100 Hz~7 kHz驱动电压下对位移响应进行了测量,相应测量位移范围7~34 nm。测量精度达到纳米量级,对较高的振动频率实现了准确...
为了充分利用埋入混凝土中压电陶瓷所激励的声能,采用了一种在压电陶瓷圆片结构的一面设置金属背衬的方法将压电陶瓷双侧的声能集中到一侧,提高了声指向性和声能。实验表明:该方法能使同距离下压电陶瓷圆片轴向声能提高10倍以上,并且得到了声能的相对增量随背衬厚度和声激励频率之积变化的特性曲线。声信号的谱分析还表明:背衬没有改变声信号的主频和主峰区间的频率带宽;当声激励频率为谐振频率79kHz时,最优背衬厚度为...
Characterization of Bi and Fe co-doped PZT capacitors for FeRAM
Characterization Bi Fe co-doped PZT capacitors FeRAM
2010/10/12
Ferroelectric random access memory (FeRAM) has been in mass production for over 15 years. Higher polarization ferroelectric materials are needed for future devices which can operate above about 100 °C...
PZT/PVDF柔性复合材料用于ISM天线研究
复合材料 柔性 微带天线
2009/11/2
采用溶液混合法制备PZT/PVDF (Pb (ZrxTi1-x) O3/Polyvinylidene Fluoride) 复合材料.对复合材料的介电特性和介质损耗特性进行了测试,设计了用于ISM波段的复合材料微带天线,由于复合材料具备高介电常数、低损耗和柔性的特点,实现了天线的小型化,并应用于高速公路自动收费系统.
PZT铁电薄膜材料的ECR等离子体刻蚀研究
等离子体刻蚀 锆钛酸铅 凝胶-溶胶工艺
2009/6/5
以SF6和SF6+Ar为刻蚀气体,采用电子回旋共振等离子体刻蚀工艺成功地对溶胶-凝胶工艺制备的锆钛酸铅铁电薄膜进行了有效的刻蚀去除.研究了不同气体总流量、混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响,指出当气体混合比约为20%时,刻蚀速率达到最大值.锆钛酸铅铁电薄膜表面组份XPS能谱分析曲线表明,在SF6和SF6+Ar气体中,被刻蚀后样品的Pb含量大大减少,TiO2的刻蚀是限制锆钛酸铅铁电薄膜刻蚀速率的...
CHARACTERISTICS OF THE BELGRADE STAR CATALOGUE PROGRAMME OF PZT ONDREJEV (BCPZT)
THE BELGRADE STAR CATALOGUE PROGRAMME PZT ONDREJEV
2009/4/23
CHARACTERISTICS OF THE BELGRADE STAR CATALOGUE PROGRAMME OF PZT ONDREJEV (BCPZT)。
CATALOGUE OF POSITIONS OF 223 ONDREJOV PZT STARS OBSERVED AT BELGRADE OBSERVATORY
223 ONDREJOV PZT STARS BELGRADE OBSERVATORY
2009/4/22
CATALOGUE OF POSITIONS OF 223 ONDREJOV PZT STARS OBSERVED AT BELGRADE OBSERVATORY。
热压温度对PZN-PZT/PVDF压电复合材料微观结构和性能的影响
热压温度 微观结构 介电性能 压电性能
2009/2/11
采用固相法合成了PZN-PZT压电陶瓷材料,再采用溶液混合法制备不同热压温度的PZN-PZT/PVDF(铌锌锆钛酸铅/聚偏二氟乙烯)压电复合材料,所得材料具有良好的介电和压电性能。采用SEM观察了PZN-PZT/PVDF压电复合材料微观结构,并研究和分析了热压温度对压电复合材料电学性能的影响。结果表明,随着热压温度的升高,复合材料内部致密度提高,气孔率降低;当热压温度为180~190℃时,压电复合...
湿声化学法制备PZT(952/48)压电陶瓷粉体
无机非金属材料 PZT 湿声化学法
2009/2/8
将湿化学法中的sol-gel技术与声化学中的超声雾化技术相结合,提出一种新的陶瓷粉体合成方法-湿声化学法, 并制备了PZT(52/48)粉体.结果表明, 用湿声化学法制备PZT(52/48)粉体, 在400℃开始形成PZT钙钛矿相,比其它制备方法的温度(500-900℃)低, 在700℃保温2 h即可得到具有纯PZT结构相的粉体.用湿声化学法制备的粉体颗粒呈圆形, 粒径小于1 um.湿声化学法使用...
致密-多孔-致密夹心PZT(3-3)复合材料
电极 多孔陶瓷 夹心结构
2008/11/17
该成果在理论上提出了夹心结构的新模型,构思上具有独创性,工艺上解决了多孔陶瓷电极敷设的难题,从而较大地提高了材料性能,拓宽使用频率达2MHZ,可使用温度达到250℃。该复合材料的密度、介电常数、声阻抗率、压电系数g_33及g_n等均可根据需要,通过不同气孔率、不同气孔粒径、不同样品厚度及选用不同瓷料进行调节。通过多年推广应用证实该复合材料是目前窄脉冲换能器较为理想的材料。经使用,效果很好。