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高气密四十线VLSI玻璃陶瓷技术研究
玻璃陶瓷 VLSI高气密
2008/11/6
该研究是超大规模集成电路玻璃陶瓷生产中需要解决的关键技术，广泛应用与大中小玻璃陶瓷的封装，前景广阔，具有显著的效益。