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日本东北大学发布用于氧化物半导体驱动的液晶面板用Cu-Mn布线日本氧化物驱动液晶布线 2011/10/31

日本东北大学研究生院工学研究科智能元件材料学专业教授小池淳一的研究小组开发出了用于氧化物半导体TFT驱动的液晶面板、基于Cu-Mn合金的布线工艺，并在有源矩阵型显示器国际学会“AM-FPD10”（2010年7月5～7日，在东京工业大学举行）上发表了演讲（演讲序号：4-2）。与目前液晶面板中使用的Al布线相比，Cu布线的电阻要低1/2左右，因而可缩小面板布线的RC延迟。该工艺主要面向大尺寸液晶面板“...